네덜란드 반도체 장비업체 ASML은 7nm 이하 미세 공정에 필요한 극자외선 노광 장비를 전 세계에서 유일하게 생산한다. 1대당 가격이 2500억원에 달하는 이 회사의 EUV 장비를 사기 위해 삼성전자와 세계 최대 파운드리업체인 대만 TSMC 등이 번호표를 뽑고 기다려야 할 만큼 ASML은 ‘슈퍼 을’이다.
황 회장은 5일 경기 용인 R&D센터에서 기자간담회를 열고 “실리콘 등 하부 기판 종류에 관계없이 어떤 전기전자 회로도 값싸게 구현할 수 있는 ‘3-5족 화합물 반도체’ 공정을 세계 최초로 상용화했다”며 “새 공정으로 기존 공정보다 10배 이상 수율이 높은 제품을 만들 수 있다”고 밝혔다. 이번 기술을 통해 기존 반도체보다 성능과 내구성은 훨씬 좋으면서 더 얇고 작은 제품 생산을 가능하다는 게 황 회장의 설명이다. 3-5족 화합물 반도체는 트랜지스터를 소형화하는 과정에서 겪는 리소그래피 기술 한계는 물론, 작아진 반도체 소자에서 발생하는 발열과 전류 누설 등 문제를 근본적으로 해결할 수 있는 물질로 꼽힌다. 공정을 미세하게 쪼개지 않아도 물질 특성상 전자 이동속도가 매우 빨라 성능에 아무 문제가 없기 때문이다. 3-5족 화합물 반도체에서 전자의 이동속도는 기존 실리콘 반도체보다 수십 배 빠르다. 전기 사용도 기존 실리콘 반도체에 비해 10분의 1 수준에 불과하다.황 회장은 네덜란드 반도체 장비 업체 ASM에서 10년간 근무한 반도체 장비 엔지니어 1세대다. 그의 취미는 20년이 넘는 세월 동안 한결같다. 바로 세계를 놀라게 할 반도체 장비 개발이다. D램 제조 핵심인 캐패서터 전용 화학기상증착기와 반도체원자층증착기 같은 장비를 세계 최초로 개발·양산했던 황 회장의 신화가 또 다시 재현될 지 주목된다.
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