Nvidia cuLitho: GPU-beschleunigte Lithografie geht in die Serienproduktion

entwickelte, GPU-beschleunigte Lithografie in die Serienproduktion. Nvidia cuLitho ist eine Software-Bibliothek, die von vielen GPUs beschleunigt wird und im Bereich der Computational Lithography die Zeit für die Berechnung von Belichtungsmasken moderner Nodes deutlich reduzieren soll.die ersten Unternehmen, die starkes Interesse an Nvidia cuLitho bekundet hatten und die Software-Bibliothek einsetzen wollten.

Computational Lithography ist in diesem Zusammenhang nicht neu, sondern kommt zwangsweise als Resultat der stetig kleineren Nodes zum Einsatz, deren Strukturen vor etwa 30 Jahren anfingen, kleiner als die Wellenlänge der genutzten Lichtquelle auszufallen.

Konnte man vor 30 Jahren vereinfacht ausgedrückt noch nach dem „What you see is what you get“-Prinzip arbeiten, als das Muster noch eins zu eins, so wie es auf der Belichtungsmaske zu sehen war, auf den Wafer übertragen werden konnte, musste man sich später bei kleineren Nodes Tricks wie vermeintlichen Verfälschungen auf der Maske bedienen, um unter Berücksichtigung der Diffraktion dennoch das korrekte Ergebnis zu erhalten.

Für anstehende Nodes wie die 2-nm-Fertigung und noch kleinere Verfahren könne die bisherige Computational Lithography ausschließlich mit CPUs potenziell nicht mehr praktikabel sein, sagt Nvidia, weil man von einem um den Faktor 10x gesteigerten Berechnungsaufwand für künftige Belichtungsmasken ausgehe. cuLitho sei deshalb überhaupt erst der Ermöglicher für die in Zukunft erwarteten Fertigungsprozesse.

ComputerBase hat Informationen zu diesem Artikel von Nvidia im Vorfeld und im Rahmen einer Veranstaltung des Herstellers in San Jose unter NDA erhalten. Die Kosten für Anreise, Abreise und vier Hotelübernachtungen wurden von dem Unternehmen getragen. Eine Einflussnahme des Herstellers auf die oder eine Verpflichtung zur Berichterstattung bestand nicht. Die einzige Vorgabe war der frühestmögliche Veröffentlichungszeitpunkt.

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