해넘긴 ‘EUV 포토레지스트’ 국산화 극자외선용 포토레지스트는 일본의 수출규제 핵심 3대 품목 중 유일하게 국산화에 이르지 못한 품목이다. 이를 개발하는 회사인 동진쎄미켐의 한 직원이 실험 재료를 들여다보고 있다. 자료사진 ☞주말엔 S-레터, 공짜 구독하기 https://bit.ly/319DiiE 동진쎄미켐이라는 회사의 발안 공장을 방문한 건 지난 6월22일이었다. 일본이 2019년 7월 한국에 대한 수출규제 강화 조처를 내린 지 2년을 앞둔 때였다. 동진쎄미켐은 포토레지스트 제조사로는 국내 대표 격으로 꼽힌다. 포토레지스트 중 최고급 단계인 ‘극자외선용 포토레지스트’는 일본의 수출규제 핵심 3대 품목 중 유일하게 국산화에 이르지 못한 상태였다. 지금도 사정은 마찬가지다. 나머지 2개 품목인 ‘고순도 불화수소’와 ‘플루오린 폴리이미드’는 수출규제 2년에 이르기 전 일찌감치 국산화 단계에 접어들며 수출규제 파장에 따른 걱정을 떨쳐냈던 것과 사뭇 달랐다.
퀄을 받았다는 것이 상업화, 제품화에 이른 것과 동일하지는 않아도 국산화에 도달했다는 뜻이며 “사실상 양산 단계”에 접어들었다고 볼 수 있다는 설명이었다. 일본의 수출규제 뒤 자주 거론되며 일반인들에게도 어지간히 알려져 있듯 포토레지스트는 반도체 기판에 회로 밑그림을 그리는 데 쓰이는 물질이다. 반도체 첫 공정의 핵심 소재로 꼽힌다. 빛을 받으면 반응하는 성질을 띠어 판화의 음각, 양각처럼 구분되는 모양을 형성할 수 있도록 해준다. 포토레지스트는 사용하는 빛의 파장에 따라 불화크립톤, 불화아르곤, 극자외선용으로 나뉜다. 많이 알려져 있는 대로 회로 선폭을 뜻하는 숫자가 작을수록 미세 공정에 유리하다. 나노미터는 10억분의 1m라는 뜻이다. 일본에서 규제 대상에 포함시킨 전략물자가 바로 이 극자외선용 포토레지스트였다.
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