ASML ist der weltweit größte Hersteller von Fotolithographiesystemen.
TSMC und praktisch alle anderen großen Halbleiterproduzenten kaufen die Belichtungsmaschinen bei dem niederländischen Konzern mit Sitz in Veldhoven. Ohne die hochkomplexen Systeme lassen sich die mikroskopisch kleinen, integrierten Schaltkreise moderner Prozessoren nicht realisieren. Und ASML ist nicht nur in der Gegenwart der mächtigste Spieler auf dem Feld, das Unternehmen hält auch die Zukunft praktisch der gesamten Halbleiterindustrie in Händen.
Wie kann es sein, dass mit 193-Nanometer-Lithographie Strukturen mit 30 oder 40 Nanometern gefertigt werden? Schauen wir uns dazu erst einmal an, wie Chips überhaupt hergestellt werden:Auf eine Siliziumscheibe, besser bekannt als Wafer, wird Fotolack aufgebracht und durch Belichtung strukturiert. Die so entstandene lithografische Maske, die aus mehreren Schichten der lichtempfindlichen Fotolackierung besteht, erfüllt im weiteren Verlauf unterschiedliche Funktionen.
So können gezielt Materialien eingebracht, Schichten durch Ätzen bearbeitet und aufeinanderfolgende Prozesse nach Bedarf voneinander isoliert werden, ehe der Lack wieder entfernt wird. Im Folgenden werden diese Schritte mehrfach wiederholt, bis am Ende aus den unterschiedlichen Schichten, chemischen und physikalischen Prozessen ein integrierter Schaltkreis, ein Mikrochip, entsteht.
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