EUV-Systeme in Taiwan: Es gibt (k)einen roten Kill Switch bei TSMC oder ASML

Sensationell wird derzeit über die Möglichkeit zur Deaktivierung von EUV-Systemen in Taiwan etwa bei TSMC berichtet, sollte China eine Invasion in Betracht ziehen. Doch den dargelegten „roten Kill Switch“ gibt es so eher nicht, vielmehr wird er gar nicht benötigt, denn ohne Support und viel ASML-Personal läuft ohnehin nichts.

EUV-Systeme sind aktuell das beste, was der Markt im Umfeld der Chipfertigung zu bieten hat. Ohne ständige Überwachung, Justierung, weitere Anpassungen und Optimierungen durch eine Vielzahl an Leuten sowohl vor Ort als auch aus der Ferne in den Niederlanden bei ASML wird in dem System kein einziger Wafer belichtet. Auf diese Weise können die Systeme nicht nur verbessert, sondern im Fall der Fälle eben auch verschlechtert respektive sogar unbrauchbar gemacht werden.

Eigene Lithografiesysteme hat Chinas Industrie bisher nicht hervorgebracht, zumindest keine für eine State-of-the-Art-Fertigung. Ohne Systeme nicht nur von ASML, sondern auch Nikon, Canon und anderen Unternehmen würde Chinas Industrie in dem Bereich um mindestens zehn Jahre zurückhängen.

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