반도체를 만들 때 실리콘 웨이퍼를 물로 씻는 공정, 미세한 이물질이라도 기판의 전류 흐름을 방해할 수 있기 때문에 극도로 깨끗한 물, 일명 '초순수' 만이 반도체 세정 작업에 쓰입니다.자외선 산화와 이온 교환 설비 등 25차례 공정을 거치면 이물질 제로에 가까운 초순수가 완성됩니다.[이명훈/수자원공사 초순수 선임 : 인체에 흡수가 되려면 물속에 일정 수준의 나트륨이나 미네랄이 필요합니다. 초순수에는 이런 유형이 전혀 없기 때문에 그냥 별다른 역할을 하지 못하고 배출이 됩니다.]국내 반도체 기업의 초순수 설비가 고장 나도 일본 기술진이 직접 들어와야 수리가 가능할 만큼 의존도가 높았습니다.
[임강빈/SK실트론 프로 : 외산 설비 딜리버리가 3개월에서 4,5개월로 증가한 경험이 있습니다. 초순수를 국산화함으로 인해서 웨이퍼를 안정적으로 제조 생산할 수 있을 것으로 판단됩니다.]환경부는 수자원 공사와 함께 초순수 기술 국산화에 나섰고, 지난해 말 '공정 설계' 단계의 첫 국산화에 성공했습니다.
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